超高分辨场发射扫描电子显微镜

SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜，其分辨率达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物镜设计、高压隧道技术（SuperTunnel）以及镜筒工艺升级，实现了低电压分辨率的进一步提升。全新设计的样品仓，扩展接口增加至16个，快速换样仓最大支持8寸晶圆（最大直径208 mm），极大扩展应用范围。高级扫描模式和自动功能增强，带来了更强的性能和更好的体验。

产品优势：

•超高分辨率成像，达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

•样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术，挑战极限样品拍摄场景

•高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计，可搭配整体罩壳设计，极大减弱环境对极限分辨率的影响

•最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm)的快速换样仓，满足半导体和科研应用需求

应用案例

欢迎咨询国仪量子超高分辨场发射扫描电子显微镜