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- 国产电镜钨灯丝扫描电子显微镜
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钨灯丝扫描电子显微镜SEM3200
国产电镜钨灯丝扫描电子显微镜SEM3200是一款高性能、应用广泛的通用型钨灯丝扫描电子显微镜。拥有出色的成像质量、可兼容低真空模式、在不同的视场范围下均可得到高分辨率图像。
大景深，成像富有立体感。丰富的扩展性，助您在显微成像的世界中尽情探索。
产品特点（*为选配件）
钨灯丝扫描电子显微镜特色功能
丰富拓展性
扫描电子显微镜不仅局限于表面形貌的观察，更可以进行样品表面的微区成分分析。
SEM3200接口丰富，除支持常规的二次电子探测器（ETD）、背散射电子探测器（BSED）、X射线能谱仪（EDS）外，也预留了诸多接口，如电子背散射衍射（EBSD）、阴极射线（CL）等探测器都可以在SEM3200上进行集成。
背散射电子探测器
二次电子成像和背散射电子成像对比
背散射电子成像模式下，荷电效应明显减弱，并且可以获得样品表面更多的成分信息。
应用案例
国产扫描电镜产品参数
型号 SEM3200A SEM3200 电子光学系统 电子枪类型 预对中型发叉式钨灯丝电子枪 分辨率 高真空 3 nm @ 30 kV（SE） 4 nm @ 30 kV（BSE） 8 nm @ 3 kV（SE） *低真空 3 nm @ 30 kV（SE） 放大倍率 1-300,000x（底片倍率） 1-1000,000x（屏幕倍） 加速电压 0.2 kV～30 kV 成像系统 探测器 二次电子探测器（ETD） 背散射电子探测器、低真空二次电子探测器、*能谱仪EDS等 图像保存格式 TIFF、JPG、PNG 真空系统 真空模式 高真空 优于5×10-4 Pa 低真空 5～1000 Pa 控制方式 全自动控制 涡轮分子泵 ≥ 240 L/S 机械泵 200 L/min （50 Hz） 样品室 摄像头 光学导航 样品仓内监控 样品台配置 三轴自动 五轴自动 行程 X: 120 mm X: 120 mm Y: 115 mm Y: 115 mm Z: 50 mm Z: 50 mm / R: 360° / T: -10°～ +90° 软件 语言 中文 操作系统 Windows 导航 光学导航、手势快速导航 自动功能 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 特色功能 智能辅助消像散、*大图拼接（选配软件） 安装要求 房间 长 ≥ 3000 mm，宽 ≥ 4000 mm，高 ≥ 2300 mm 温度 20 ℃～25 ℃ 湿度 ≤ 50 % 电气参数 电源AC 220 V(±10 %)，50 Hz，2 kVA